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당사는 삼성, 하이닉스, TSMC 등 유수 반도체 제조업체의 웨이퍼 제조공정 중 핵심이며, 가장 큰 after market (부품시장)을 형성하고 있는 식각 공정에 사용하는 Quartz parts을 제조하고 있습니다
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특히, Focus ring 제품은 웨이퍼 가장자리에서 플라즈마 밀도를 균일하게 유지하여 식각 균일도를 향상시켜 반도체 생산 수율을 높이는 핵심 부품입니다.
Quartz parts 의 장점
Quartz는 반도체와 더블어 디스플레이, 태양광, 광통신 등
첨단산업에 이용되는 중요한 소재 입니다.
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고온 및 플라즈마 내성:반도체 공정에서 사용되는 플라즈마(예: CF₄, SF₆, Cl₂등)에 대한 저항성이 뛰어나 부식이 적고 1200도이 상의 고온의 공정에서 변형이 없이 사용이 가능.
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전기적 절연체:비전도성 소재로서 전기적 간섭을 최소화.
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저오염성:불순물이 적어 반도체 제조시 오염을 최소화.
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높은 투과율:자외선(UV) 및 특정 가시광선을 잘 투과하여 플라 즈마를 안정적으로 형성하는 데 도움.
반도체 식각공정 Quartz parts
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